FEM Elektrostatik
Die nachfolgenden Beispiele zeigen exemplarische Simulationsberechnungen aus dem Bereich Elektrostatik.
Simulation eines kapazitiven Drucksensors
Deformation einer 1µm dünnen Membran aus Poly-Silizium mit einem Durchmesser von 90µm bei einem Druck von 1bar.
Kapazität in Abhängigkeit vom Umgebungsdruck.